 |
 |
 |
 |
| µ¿¾Æ´ë ±â°è°øÇаú Çлý ÆÀ, Çѱ¹Æ®¶óÀ̺¼·ÎÁöÇÐȸ ĸ½ºÅæµðÀÚÀΰæÁø´ëȸ ¿ì¼ö»ó |
2021-11-08 ¿ÀÀü 9:44:31 |
|
µ¿¾Æ´ë ±â°è°øÇаú Çлý ÆÀ, ‘Á¦1ȸ Çѱ¹Æ®¶óÀ̺¼·ÎÁöÇÐȸ ĸ½ºÅæµðÀÚÀÎ °æÁø´ëȸ’ ¿ì¼ö»ó | |  | µ¿¾Æ´ë ±â°è°øÇаú ±èÁöÈÆ(¿ÞÂÊ) Çлý°ú ¹Ú¼º¹Î ÇлýÀÌ ‘Á¦1ȸ Çѱ¹Æ®¶óÀ̺¼·ÎÁöÇÐȸ ĸ½ºÅæµðÀÚÀÎ °æÁø´ëȸ’¿¡¼ ¿ì¼ö»óÀ» ¹ÞÀº ÀÛÇ° ¾Õ¿¡¼ Æ÷Á ÃëÇß´Ù. <»çÁø = ±â°è°øÇаú Á¦°ø>
| | | |  | | | | | ‘¹ÝµµÃ¼ ÆòÅºÈ ½ÇÇèÀ» À§ÇÑ ¼ÒÇü Àü±âÈÇÐ-±â°èÀû ÆòźÈ(EMCP) ÀåÄ¡’ ÃâÇ° Á¦71ȸ Ãß°è Çмú´ëȸ¿¡¼ ÀÌÇö¼· ±³¼ö·¹Úº´ÈÆ ¹Ú»ç°úÁ¤»ýµµ ¼ö»ó °ã°æ»ç | | | | | | µ¿¾Æ´ëÇб³(ÃÑÀå ÀÌÇØ¿ì)´Â ±â°è°øÇаú ÇлýµéÀÌ Á¦1ȸ Çѱ¹Æ®¶óÀ̺¼·ÎÁöÇÐȸ ĸ½ºÅæµðÀÚÀÎ °æÁø´ëȸ¿¡¼ ¿ì¼ö»óÀ» ¹Þ¾Ò´Ù°í 8ÀÏ ¹àÇû´Ù. À̹ø °æÁø´ëȸ´Â ÃÖ±Ù ¿¸° ‘Çѱ¹Æ®¶óÀ̺¼·ÎÁöÇÐȸ Á¦71ȸ Ãß°èÇмú´ëȸ’ ±â°£ Ưº°¼¼¼ÇÀ¸·Î ÁøÇàµÆÀ¸¸ç, Æ®¶óÀ̺¼·ÎÁö ºÐ¾ß ¹× ±â°è°øÇÐ Àü ºÐ¾ßÀÇ ´ëÇлýµéÀÌ Âü°¡Çß´Ù. Æ®¶óÀ̺¼·ÎÁö(tribology)¶õ ¸¶Âû°ú ¸¶¸ð, À±È° µîÀ» ´ë»óÀ¸·Î ÇÑ Çй®°ú ±â¼úÀ̸ç, ¿ÃÇطΠ⸳ 37ÁÖ³âÀ» ¸ÂÀº Çѱ¹Æ®¶óÀ̺¼·ÎÁöÇÐȸ(KTS)´Â ¿ì¸®³ª¶ó À¯ÀÏÀÇ Æ®¶óÀ̺¼·ÎÁö ºÐ¾ß Àü¹®ÇÐȸ´Ù. À̹ø ´ëȸ ÁÖÁ¦´Â ‘»ýÈ°°¡Àü°ú ¼ö¼Û±â°è µî °¢Á¾ ±â°è ÀåºñÀÇ ¼ÒÀ½ ¹× Áøµ¿¹ß»ý, ¼ö¸í·³»±¸¼º ÀúÇÏ µîÀ» ÇØ°áÇÒ ¼ö Àִ âÀÇÀû ±â¼ú’À̳ª ‘¸¶Âû·¸¶¸ð °ü·Ã »õ·Î¿î ÀÀ¿ë±â¼ú’, ‘±â°èÀåºñÀÇ À¯Áöº¸¼ö ¹æ¹ý, À±È°À¯ ¼º´É °³¼± ¹× ¼ººÐ ÃøÁ¤, º¸°ü °ü·Ã ¾ÆÀ̵ð¾î’ µîÀ̾ú´Ù. µ¿¾Æ´ë ±â°è°øÇаú 4Çг⠹ڼº¹Î·±èÁöÈÆ Çлý(Áöµµ±³¼ö ÀÌÇö¼·)Àº ‘½ÇÇè¿ë ¼ÒÇü Àü±âÈÇÐ-±â°èÀû ÆòźÈ(ECMP) ÀåºñÀÇ ¼³°è’·Î ¿ì¼ö»óÀ» ¼ö»óÇß´Ù. À̵éÀº ¹ÝµµÃ¼ ÆòÅºÈ ½ÇÇèÀ» À§ÇÑ ¼ÒÇü Àü±âÈÇÐ-±â°èÀû ÆòÅºÈ ÀåÄ¡¸¦ ¼³°è ¹× Á¦ÀÛ, °¡°ø Áß ¸¶Âû·Â ÃøÁ¤À» À§ÇÑ ¸ð´ÏÅ͸µ ÀåÄ¡¸¦ ÀåÂøÇÒ ¼ö ÀÖ°í ¿¬¸¶ Çìµå ¼³°è º¯°æÀÌ ½¬¿î Ź»ó¿ë ECMP ½ÇÇè ÀåÄ¡¸¦ Á¦¾ÈÇß´Ù. ¹Ú¼º¹Î ÇлýÀº “¿¬±¸ÇÐÁ¡Á¦¸¦ ÅëÇØ °úÁ¦¸¦ ¼öÇàÇÑ ¼º°ú¸¦ ¹ßÇ¥ÇÔÀ¸·Î½á ¹ÝµµÃ¼ CMP¿Í Æ®¶óÀ̺¼·ÎÁö ºÐ¾ß¿¡ ´ëÇÑ ÀÌÇصµ¸¦ ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ´Â ±âȸ°¡ µÆ´Ù”°í ¸»Çß´Ù. ÇÑÆí À̹ø Çѱ¹Æ®¶óÀ̺¼·ÎÁöÇÐȸ Á¦71ȸ Ãß°èÇмú´ëȸ¿¡¼± µ¿¾Æ´ë ±â°è°øÇаú ¹Úº´ÈÆ ¹Ú»ç°úÁ¤»ý(Áöµµ±³¼ö ÀÌÇö¼·)ÀÌ ‘CMP ÄÁµð¼Å´× ½Ã½ºÅÛ ¼³°èº¯¼ö¿¡ µû¸¥ ÆÐµå ¸¶¸ð ÇÁ·ÎÆÄÀÏ ¿¬±¸’·Î ÇмúºÎ¹® Àå·Á»óÀ» ¹Þ¾Ò´Ù. ÀÌÇö¼· ±³¼ö ¶ÇÇÑ ‘ÈÇбâ°èÀû ¿¬¸¶(CMP) °øÁ¤¿¡¼ÀÇ Æ®¶óÀ̺¼·ÎÁö ¿¬±¸ µ¿Çâ’À̶ó´Â ³í¹®À¸·Î Çѱ¹Æ®¶óÀ̺¼·ÎÁöÇÐȸ ±¹¹® ÇмúÁö ‘Tribology and Lubricants’ ÃÖ´ë ÇÇÀÎ¿ë ³í¹®»óÀ» ¹Þ´Â ¼º°ú¸¦ ¿Ã·È´Ù. | | | | |  | | | | | · ÃëÀç: ´ë¿ÜÇù·Âó È«º¸ÆÀ Àå¼Ò¿µ | | | | | |
|
|
|
 |
|
 |
 |
 |
 |
|